第6章

空気軸受の摩擦を測る

空気静圧直動軸受には、(1) 運動の精度が高い、(2) 摩擦が小さい、という二つの特長があります。前者は、最も精密な工作機械や計測器でリニアモータと組み合わせて広く使われ、研究もあります。一方、後者の「小さな摩擦」は、それを測る方法がなく、ほとんど注目されてきませんでした。しかし、運動制御の精度を上げるうえで、いずれ中心的な関心事になります。

浮上質量法では、空気軸受の可動部の運動を光干渉計で測るので、可動部に働く力、すなわち軸受内部の摩擦力を直接評価できます。10 mN級の力を扱っています。

Y. Fujii, H. Fujimoto, "Measurements of frictional characteristics of a pneumatic linear bearing", Meas. Sci. Technol., Vol.10, No.5, pp.362–366, 1999.
Y. Fujii, "Measurement of force acting on a moving part of a pneumatic linear bearing", Rev. Sci. Instrum., Vol.74, No.6, pp.3137–3141, 2003.
Y. Fujii, "An optical method for evaluating frictional characteristics of linear bearings", Opt. Lasers Eng., Vol.42, No.5, pp.493–501, 2004.
Y. Fujii, "Frictional characteristics of an aerostatic linear bearing", Tribol. Int., Vol.39, No.9, pp.888–896, 2006.

← 前へ：5. 動的誤差の補正｜次へ：7. 材料試験・微小力 →

空気軸受の摩擦を測る

目次